SEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电镜，电子光学镜筒设计优化，综合像差降低了 30%，从而达到了0.48 nm@15 kv和 0.9 nm@1 kv的超高分辨率。超高分辨率和高稳定性，可在先进纳米结构和纳米材料的研究、高端芯片半导体的研发制造等领域发挥其性能优势。
超高分辨场发射扫描电子显微镜
SEM5000X
SEM5000X
突破性的分辨能力
机械中心样品台
*双减速模式（Duo-Dec）
*快速换样仓
（最大8寸）
（最大8寸）
高稳定性
丰富的扩展能力
产品优势
超高分辨率成像，达到了突破性的0.48 nm@15 kV和0.9 nm@1 kV
样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术，挑战极限样品拍摄场景
高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计，可搭配整体罩壳设计，极大减弱环境对极限分辨率的影响
最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm)的快速换样仓，满足半导体和科研应用需求
应用案例
介孔二氧化硅/1 kV（Duo-Dec）/lnlens
阳极氧化铝板 /10 kV/Inlens
芯片/5 kV/BSED-COMP
肾脏切片 /5 kV/BSED-COMP
泡沫镍/2 kV/ETD-SE
蓝宝石衬底/5 kV/ETD-SE
金颗粒/1 kV/Inlens
光刻胶/2 kV/ETD-SE
磁性粉末/10 kV/Inlens
二氧化硅球/3 kV/ETD-SE
催化剂/1 kV/ETD-SE
波导/1 kV/ETD-SE
产品参数
| 关键参数 | |
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二次电子分辨率 （非样品台减速模式） |
0.48 nm @ 15 kV |
| 0.9 nm @ 1 kV | |
| 加速电压（非着陆电压） | 20 V ~ 35 kV |
| 底片放大倍率 | 20 ~ 2,500,000 x
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| 电子枪类型 | 肖特基热场发射电子枪 |
| 样品室 | |
| 摄像头 |
双摄像头 （光学导航+样品室红外CCD） |
| 样品台行程 |
X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm |
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T: -10°~+80°，R: 360° |
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| 样品最大尺寸 |
直径≥260 mm，高≥70 mm |
| 真空系统 | |
| 真空度 |
电子枪真空度≤9×10-8 Pa 样品仓真空度≤2×10-4 Pa |
| 探测器和扩展 | |
| 标配 | 镜筒内电子探测器（Inlens） |
| 样品室内二次电子探测器（ETD） | |
| 选配 |
样品室插入式全自动可伸缩背散射电子探测器 |
| 插入式扫描透射探测器（STEM） | |
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| 低真空二次电子探测器（LVD） | |
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| 样品交换仓（4寸和8寸可选） | |
| 轨迹球&操作面板 | |
| 离子溅射仪：样品仓尺寸 130×130mm | |
| 样品台：可以装载15个标准样品钉台，可调高度60mm | |
| 软件 | |
| 语言 | 中文 |
| 操作系统 | Windows |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航，轨迹球（选配） |
| 图像存储 |
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| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
