SEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电镜，电子光学镜筒设计优化，综合像差降低了 30%，从而达到了0.5 nm@15 kv和 1.0 nm@1 kv的超高分辨率。超高分辨率和高稳定性，可在先进纳米结构和纳米材料的研究、高端芯片半导体的研发制造等领域发挥其性能优势。
超高分辨场发射扫描电子显微镜
SEM5000X
SEM5000X
突破性的分辨能力
机械中心样品台
*双减速模式（Duo-Dec）
*快速换样仓
（最大8寸）
（最大8寸）
高稳定性
丰富的扩展能力
产品优势
超高分辨率成像，达到了突破性的0.5 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV
样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术，挑战极限样品拍摄场景
高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计，可搭配整体罩壳设计，极大减弱环境对极限分辨率的影响
最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm)的快速换样仓，满足半导体和科研应用需求
应用案例
介孔二氧化硅/1 kV（Duo-Dec）/lnlens
阳极氧化铝板 /10 kV/Inlens
芯片/5 kV/BSED-COMP
肾脏切片 /5 kV/BSED-COMP
泡沫镍/2 kV/ETD-SE
蓝宝石衬底/5 kV/ETD-SE
金颗粒/1 kV/Inlens
光刻胶/2 kV/ETD-SE
磁性粉末/10 kV/Inlens
二氧化硅球/3 kV/ETD-SE
催化剂/1 kV/ETD-SE
波导/1 kV/ETD-SE
产品参数
| 关键参数 | |
|
分辨率 |
0.5 nm @ 15 kV，SE |
| 1.0 nm @ 1 kV，SE | |
| 加速电压 | 20 V ~ 30 kV |
| 放大倍率 | 1 ~ 2,500,000 x |
| 电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 |
| 样品室 | |
| 摄像头 |
双摄像头 （光学导航+样品仓内监控） |
| 样品台行程 |
X:110 mm，Y:110 mm，Z:65 mm (XY轴支持升级至150mm） |
|
T: -10°~+70°，R: 360° |
|
| 探测器和扩展 | |
| 标配 | 镜筒内电子探测器（Inlens） |
| 仓室内电子探测器（ETD） | |
| 选配 |
插入式背散射电子探测器（BSED） |
| 插入式扫描透射探测器（STEM） | |
|
|
|
| 低真空二次电子探测器（LVD） | |
|
|
|
| 样品交换仓（4寸和8寸可选） | |
| 轨迹球&旋钮板 | |
| 双减速技术（Duo-Dec） | |
| *型号 | XP、XLG、XM等机型可选 |
| 软件 | |
| 语言 | 中文 |
| 操作系统 | Windows |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航，轨迹球（选配） |
| 图像存储 |
|
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
