SEM5000E是一款超高分辨率场发射扫描电镜，电子光学镜筒设计优化，综合像差降低了 30%，从而达到了0.6 nm@15 kv和 1.0 nm@1 kv的超高分辨率。超高分辨率和高稳定性，可在先进纳米结构和纳米材料的研究、高端芯片半导体的研发制造等领域发挥其性能优势。
超高分辨场发射扫描电子显微镜
SEM5000E
SEM5000E
突破性的分辨能力
机械中心样品台
镜筒内加/减速模式
快速换样仓
（最大4寸）
（最大4寸）
高稳定性
丰富的扩展能力
产品优势
超高分辨率成像，达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV
高压隧道技术，挑战极限样品拍摄场景
高精度机械优中心样品台，可搭配整体罩壳设计，极大减弱环境对极限分辨率的影响
最大支持4寸晶圆的快速换样仓，满足半导体和科研应用需求
应用案例
介孔二氧化硅/1 kV（Duo-Dec）/lnlens
阳极氧化铝板 /10 kV/Inlens
芯片/5 kV/BSED-COMP
肾脏切片 /5 kV/BSED-COMP
泡沫镍/2 kV/ETD-SE
蓝宝石衬底/5 kV/ETD-SE
金颗粒/1 kV/Inlens
光刻胶/2 kV/ETD-SE
磁性粉末/10 kV/Inlens
二氧化硅球/3 kV/ETD-SE
催化剂/1 kV/ETD-SE
波导/1 kV/ETD-SE
产品参数
| 关键参数 | 分辨率 | 0.6 nm @ 15 kV，SE |
| 1.0 nm @ 1 kV，SE | ||
| 加速电压 | 20 V ~ 30 kV | |
| 放大倍率 | 1 ~ 2,500,000 x | |
| 电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 | |
| 样品室 | 摄像头 | 双摄像头（光学导航+样品仓内监控） |
| 样品台行程 |
X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm |
|
|
T: -10°~+70°，R: 360° |
||
| 探测器和扩展 | 标配 | 镜筒内电子探测器（Inlens） |
| 仓室内电子探测器（ETD） | ||
| 选配 |
插入式背散射电子探测器（BSED） （五分割，可选配） |
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| 插入式扫描透射探测器（STEM） | ||
| 能谱仪（EDS） | ||
| 背散射衍射（EBSD） | ||
| 轨迹球&旋钮板 | ||
| 软件 | 语言 | 中文 |
| 操作系统 | Windows | |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航，轨迹球（选配） | |
| 图像记录 | TIFF、JPG、PNG、BMP等 | |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
| 关键参数 | |
| 分辨率 | 0.6 nm @ 15 kV，SE |
| 1.0 nm @ 1 kV，SE | |
| 加速电压 | 20 V ~ 35 kV |
| 放大倍率 | 1 ~ 2,500,000 x |
| 电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 |
| 样品室 | |
| 摄像头 | 双摄像头（光学导航+样品仓内监控） |
| 样品台行程 |
X≥150 mm，Y≥150 mm，Z≥65 mm |
|
T: -10°~+90°，R: 360° |
|
| 探测器和扩展 | |
| 标配 | 镜筒内电子探测器（Inlens） |
| 旁侧二次电子探测器（ETD） | |
| 选配 |
插入式背散射电子探测器（BSED） （五分割，可选配） |
| 插入式扫描透射探测器（STEM） | |
| 能谱仪（EDS） | |
| 背散射衍射（EBSD） | |
| 样品交换仓（4寸） | |
| 轨迹球&旋钮板 | |
| 软件 | |
| 语言 | 中文 |
| 操作系统 | Windows |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航 |
| 图像记录 | TIFF、JPG、PNG、BMP等 |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
