DB550 是一款追求极致产出效能的纳米分析工具。它采用低电压高分辨电子镜筒与超级减速方案， 在极低电压下仍能保持亚纳米级成像解析。 核心升级的新一代 “承影 2.0” 离子镜筒， 以更优的低压分辨率与大束流表现，优化纳米加工的速率。 集成式的硬件体系与智能软件算法， 为您打造优雅全能的微纳分析与加工中心， 显著提升产出效率。
股票代码：688828
聚焦离子束电子束双束显微镜
DB550
DB550
低压高分辨电子镜筒
“承影2.0”镜筒
丰富的扩展能力
独立式气体注入器
集成式纳米机械手
操作简易高效
产品优势
高压隧道技术和无漏磁物镜的电子镜筒，高分辨率成像，兼容磁性样品
“承影2.0”离子镜筒，高稳定、高质量的离子束流，用于高质量纳米加工和TEM制样
机械手采用集成控制方式，通过成像界面精准控制移动
自主可控，扩展性强，集成化设计的离子源更换时间快，极致的售后服务
技术介绍
"承影2.0"离子镜筒
技术特点
分辨率：2.5 nm@30 kV
100 nm@1 kV
加速电压范围：500 V~30 kV
使用寿命：≥1500小时
长时间稳定性：72小时不间断工作
纳米机械手
技术特点
三轴/四轴可选
集成式控制方式
离子束-电子束协同
气体注入器
独立的气体注入系统
多种气源可选
集成式控制方式
应用案例
28nm Cu制程芯片 Top view
Al制程截面
PCB 截面大尺寸切割
SiC 掺杂
纳米机械手提取样品
三元材料截面
石墨颗粒截面
太阳能光伏银线截面
钛金周薄片中的增强相
陶瓷材料截面
铁素体马氏体钢(微磁)DB500 电子像
铁素体马氏体钢原子像(STEM-HAADF)
透射制样
原位加热EBSD样品制备
原位拉力样品制备
原位透射拉力样品制备
原位压力样品制备
质子交换膜截面
产品参数
| 电子束系统 | 电子枪类型 | 高亮度肖特基场发射电子枪 |
| 分辨率 | 0.9 nm@15 kV | |
| 加速电压 | 20 V ~ 30 kV | |
| 离子束系统 | 离子源类型 | 液态镓离子源 |
| 分辨率 | 3 nm@30 kV | |
| 加速电压 | 500 V ~ 30 kV | |
| 样品室 | 真空系统 | 全自动控制，无油真空系统 |
| 摄像头 | 三摄像头 | |
| （光学导航+样品仓内监控x2） | ||
| 样品台类型 | 五轴机械优中心样品台 | |
| 样品台行程 | X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm | |
| T: -10°~+70°，R: 360° | ||
| 探测器和扩展 | 标配 | 镜筒内电子探测器(Inlens) |
| 旁侧二次电子探测器（ETD） | ||
| 选配 | 插入式背散射电子探测器（BSED） | |
| 插入式扫描透射探测器（STEM） | ||
| 能谱仪（EDS） | ||
| 背散射衍射（EBSD） | ||
| 纳米机械手 | ||
| 气体注入器 | ||
| 等离子清洗 | ||
| 样品交换仓 | ||
| 轨迹球&旋钮控制板 | ||
| 软件 | 语言 | 中文 |
| 操作系统 | Windows | |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航 | |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
| 电子束系统 | |
| 电子枪类型 | 高亮度肖特基场发射电子枪 |
| 分辨率 |
1.4 nm@1 kV 0.9 nm@15 kV 1.3 nm @ 1 kV（with TD） 1.2 nm@1.0 kV* 1.9 nm@200 V（with TD） 0.7 nm@15 kV* |
| 加速电压 | 20 V ~ 30 kV |
| 离子束系统 | |
| 离子源类型 | 液态镓离子源 |
| 分辨率 |
2.5 nm@30 kV 100 nm@1 kV |
| 加速电压 | 500 V ~ 30 kV |
| 离子源寿命 | ≥1500 h |
| 样品室 | |
| 真空系统 | 全自动控制 |
| 摄像头 | 三摄像头 |
| （光学导航+样品仓内监控x2） | |
| 样品台类型 | 五轴机械优中心样品台 |
| 样品台行程 | X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm |
| T: -38°~70°，R: 360° 连续可调 | |
| X=150 mm，Y=150 mm，Z=65 mm | |
| T: -10°~70°，R: 360°（可选） | |
| 探测器和扩展 | |
| 标配 | 镜筒内电子探测器 |
| 旁侧二次电子探测器（ETD） | |
| 选配 | 插入式背散射电子探测器（BSED） |
| 插入式扫描透射探测器（STEM） | |
| 镜筒内背散射探测器(Inlens-BSE) | |
| 4D STEM | |
| 纳米机械手（三轴、四轴可选） | |
| 气体注入器(Pt、C、W、XeF₂可选) | |
| 样品交换仓 | |
| 轨迹球&旋钮控制板 | |
| 样品台减速 | |
| 等离子清洗 | |
| 能谱仪(EDS) | |
| 背散射衍射(EBSD) | |
| 飞行时间二次离子质谱(TOF SIMS) | |
| 原位加热/拉伸系统 | |
| 冷冻传输系统 | |
| 软件 | |
| 语言 | 中文/英文 |
| 操作系统 | Windows |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航 |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散、Auto Stack |
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