钨灯丝扫描电子显微镜
SEM3200
SEM3200 是一款综合能力优秀的通用型立式钨灯丝扫电镜。独特的电子枪双阳极结构，保证了低电压下的分辨率和更好的图像信噪比。另外有诸多的可选配附件选择，使得SEM3200 成为了一款应用广泛的综合分析仪器。
钨灯丝扫描电子显微镜
低电压下性能卓越
*双阳极结构
* 支持低真空模式
智能辅助消像散
预对中钨灯丝
丰富的扩展能力
（*为选配件）
产品特点（*为选配件）
（*为选配件）
低电压
碳材料样品，低电压下，穿透深度较小，可以获取样品表面真实形貌，细节更丰富。
毛发样品，在低电压下，电子束辐照损伤减小，同时消除了荷电效应。
低真空
过滤纤维管材料，导电性差，在高真空下荷电明显，在低真空下，无需镀膜即可实现对不导电样品的直接观察。
大视场
生物样品，采用大视场观察，能够轻松获得瓢虫整体形貌及头部结构细节，展现跨尺度分析。
导航&防碰撞
光学导航
想看哪里点哪里，导航更轻松
标配仓内摄像头，可拍摄高清样品台照片，快速定位样品。
手势快捷导航
可通过双击移动、鼠标中键拖动、框选放大，进行快捷导航
如框选放大：在低倍导航下，获得样品的大视野情况，可快速框选您感兴趣的样品区域，提高工作效率。
防碰撞技术
采取多维度的防碰撞方案：
1. 手动输入样品高度，精准控制样品与物镜下端距离，防止发生碰撞；
2. 基于图像识别和动态捕捉技术，运动过程中对仓内的画面进行实时监测；
3. 硬件防碰撞，可在碰撞一瞬间停止电机，减少碰撞损伤。(*SEM3200A需选配此功能）
特色功能
智能辅助消像散
直观反映整个视野的像散程度，通过鼠标点击清晰处，可快速调节像散至最佳。
自动聚焦
一键聚焦，快速成像。
自动消像散
一键消像散，提高工作效率。
自动亮度对比度
一键自动亮度对比度，调出灰度合适图像。
多种信息同时成像
SEM3200软件支持一键切换SE和BSE的混合成像。可同时观察到样品的形貌信息和
成分信息。
快速图像旋转
拖动一条线，图像立刻“摆正角度”。
丰富拓展性
扫描电子显微镜不仅局限于表面形貌的观察，更可以进行样品表面的微区成分分析。
SEM3200接口丰富，除支持常规的二次电子探测器（ETD）、背散射电子探测器（BSED）、X射线能谱仪（EDS）外，也预留了诸多接口，如电子背散射衍射（EBSD）、阴极射线（CL）等探测器都可以在SEM3200上进行集成。
背散射电子探测器
二次电子成像和背散射电子成像对比
背散射电子成像模式下，荷电效应明显减弱，并且可以获得样品表面更多的成分信息。
镀层样品：
钨钢合金样品：
四分割背散射电子探测器——多通道成像
探测器设计精巧，灵敏度高，采用4分割设计，无需倾斜样品，可获得不同方向的阴影像以及成分分布图像。
四个单通道的阴影像
成分像
能谱
LED小灯珠能谱面分析结果。 
电子背散射衍射
钨灯丝电镜束流大，完全满足高分辨EBSD的测试需求，能够对金属、陶瓷、矿物等多晶材料进行晶体取向标定以及晶粒度大小等分析。
该图为Ni金属标样的EBSD反极图，能够识别晶粒大小和取向，判断晶界和孪晶，对材料组织结构进行精确判断。
产品特点
（*为选配件）
低电压
碳材料样品，低电压下，穿透深度较小，可以获取样品表面真实形貌，细节更丰富。
毛发样品，在低电压下，电子束辐照损伤减小，同时消除了荷电效应。
低真空
过滤纤维管材料，导电性差，在高真空下荷电明显，在低真空下，无需镀膜即可实现对不导电样品的直接观察。
大视场
生物样品，采用大视场观察，能够轻松获得瓢虫整体形貌及头部结构细节，展现跨尺度分析。
导航&防碰撞
光学导航
想看哪里点哪里，导航更轻松
标配仓内摄像头，可拍摄高清样品台照片，快速定位样品。
手势快捷导航
可通过双击移动、鼠标中键拖动、框选放大，进行快捷导航
如框选放大：在低倍导航下，获得样品的大视野情况，可快速框选您感兴趣的样品区域，提高工作效率。
防碰撞技术
采取多维度的防碰撞方案：
1. 手动输入样品高度，精准控制样品与物镜下端距离，防止发生碰撞；
2.基于图像识别和动态捕捉技术，运动过程中对仓内的画面进行实时监测；
3. *硬件防碰撞，可在碰撞一瞬间停止电机，减少碰撞损伤。
特色功能
智能辅助消像散
直观反映整个视野的像散程度，通过鼠标点击清晰处，可快速调节像散至最佳。
自动聚焦
一键聚焦，快速成像。
自动消像散
一键消像散，提高工作效率。
自动亮度对比度
一键自动亮度对比度，调出灰度合适图像。
多种信息同时成像
SEM3200软件支持一键切换SE和BSE的混合成像。可同时观察到样品的形貌信息和成分信息。
快速图像旋转
拖动一条线，图像立刻“摆正角度”。
导航&防碰撞
扫描电子显微镜不仅局限于表面形貌的观察，更可以进行样品表面的微区成分分析。
SEM3200接口丰富，除支持常规的二次电子探测器（ETD）、背散射电子探测器（BSED）、X射线能谱仪（EDS）外，也预留了诸多接口，如电子背散射衍射（EBSD）、阴极射线（CL）等探测器都可以在SEM3200上进行集成。
背散射电子探测器
二次电子成像和背散射电子成像对比
背散射电子成像模式下，荷电效应明显减弱，并且可以获得样品表面更多的成分信息。
镀层样品：
钨钢合金样品：
四分割背散射电子探测器——多通道成像
探测器设计精巧，灵敏度高，采用4分割设计，无需倾斜样品，可获得不同方向的阴影像以及成分分布图像。
四个单通道的阴影像
成分像
能谱
LED小灯珠能谱面分析结果。 
电子背散射衍射
钨灯丝电镜束流大，完全满足高分辨EBSD的测试需求，能够对金属、陶瓷、矿物等多晶材料进行晶体取向标定以及晶粒度大小等分析。
该图为Ni金属标样的EBSD反极图，能够识别晶粒大小和取向，判断晶界和孪晶，对材料组织结构进行精确判断。
应用案例
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产品参数
| 参数 | SEM3200 | |
|---|---|---|
| 关键参数 | 分辨率 | 3 nm @ 30 kV, SE 7 nm @ 3 kV, SE 4 nm @ 30 kV, BSE 3 nm @ 30 kV, SE, 30 Pa |
| 加速电压 | 0.2 kV ～ 30 kV | |
| 放大倍率 | 1 x ～ 300,000 x | |
| 样品室 | 低真空模式 | 5~1000 Pa（选配） |
| 摄像头 | 光学导航 + 样品仓内监控 | |
| 样品台类型 | 五轴真空电机驱动 | |
| XY 行程 | 125 mm | |
| Z 行程 | 50 mm | |
| T 行程 | -10° ~+90° | |
| R 行程 | 360° | |
| 探测器 | 仓室内二次电子探测器（ETD） | ● |
| 背散射电子探测器 (BSED) | ○ | |
| 能谱仪（EDS） | ○ | |
| 背散射衍射（EBSD） | ○ | |
| 扩展 | 样品交换仓 | ○ |
| 旋钮板 & 轨迹球 | ○ | |
| 软件 | 操作软件 | Windows 操作系统，中文 SEM 软件 |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航、轨迹球（选配） | |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 | |
●标配 ○选配 / 无
产品参数
电子光学系统
电子枪类型
预对中型发叉式钨灯丝电子枪
分辨率（高真空）
3 nm @ 30 kV（SE）
4 nm @ 30 kV（BSE）
8 nm @ 3 kV（SE）
4 nm @ 30 kV（BSE）
8 nm @ 3 kV（SE）
分辨率 （*低真空）
3 nm @ 30 kV（SE）
放大倍率
1~300，000x（底片倍率）
1~1000，000x（屏幕倍率）
1~1000，000x（屏幕倍率）
加速电压
0.2 kV～30 kV
成像系统
探测器
二次电子探测器（ETD）
*背散射电子探测器、*低真空二次电子探测器、*能谱仪EDS等
图像保存格式
TIFF、JPG、BMP、PNG
真空系统
高真空
优于5×10-4 Pa
*低真空
5～1000 Pa
控制方式
全自动控制
涡轮分子泵
≥ 240 L/S
机械泵
200 L/min（50 Hz）
样品室SEM3200A
摄像头
光学导航
样品仓内监控
样品仓内监控
样品台配置
三轴自动
行程
X: 120 mm
Y: 115 mm
Z: 50 mm
/
/
Y: 115 mm
Z: 50 mm
/
/
样品室SEM3200
摄像头
光学导航
样品仓内监控
样品仓内监控
样品台配置
五轴自动
行程
X: 120 mm
Y: 115 mm
Z: 50 mm
R: 360°
T: -10°～ +90°
Y: 115 mm
Z: 50 mm
R: 360°
T: -10°～ +90°
软件
语言
中文
操作系统
Windows
导航
光学导航、手势快捷导航
自动功能
自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散
特色功能
智能辅助消像散、*大图拼接（选配软件）
安装要求
房间
长 ≥ 3000 mm，宽 ≥ 4000 mm
高 ≥ 2300 mm
高 ≥ 2300 mm
温度
20 ℃～25 ℃
湿度
≤ 50 %
电气参数
电源AC 220 V(±10 %)，50 Hz，2 kVA
