超高分辨场发射扫描电子显微镜
SEM5000X
 

SEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电子显微镜,其分辨率达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物镜设计、高压隧道技术(SuperTunnel)以及镜筒工艺升级,实现了低电压分辨率的进一步提升。全新设计的样品仓,扩展接口增加至16个,快速换样仓最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm),极大扩展应用范围。高级扫描模式和自动功能增强,带来了更强的性能和更好的体验。

超高分辨率
(0.6 nm@15 kV)
高压隧道技术
*双减速模式(Dul-Dec
机械优中心样品台
*快速换样仓(最大8寸)
产品优势
超高分辨率成像,达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV
样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术,挑战极限样品拍摄场景
高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计,可搭配整体罩壳设计,极大减弱环境对极限分辨率的影响
最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm)的快速换样仓,满足半导体和科研应用需求
应用案例
介孔二氧化硅/1 kV(Dul-Dec)/lnlens
阳极氧化铝板 /10 kV/Inlens
芯片/5 kV/BSED-COMP
肾脏切片 /5 kV/BSED-COMP
泡沫镍/2 kV/ETD-SE
蓝宝石衬底/5 kV/ETD-SE
金颗粒/1 kV/Inlens
光刻胶/2 kV/ETD-SE
磁性粉末/10 kV/Inlens
二氧化硅球/3 kV/ETD-SE
催化剂/1 kV/ETD-SE
波导/1 kV/ETD-SE
产品参数
关键参数 分辨率 0.6 nm @ 15 kV,SE
1.0 nm @ 1 kV,SE
高分辨率模式最大观察视野 ≥5mm@5kV
工作距离WD <9mm
加速电压 20 V ~ 30 kV
放大倍率 1 ~ 2,500,000 x
电子枪类型 肖特基场发射电子枪,稳定性≥0.2%/h
样品室 真空系统 全自动控制
摄像头 双摄像头(光学导航+样品仓内监控)
图像存储分辨率 最大48×32k像素
样品台类型 五轴优中心马达驱动样品台
样品台行程

X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm

X=130mm,Y=130mm,Z=50mm(选配)

T: -10°~+70°,R: 360°

T=-4~70°、R=360°(旋转)

(选配)

样品舱室尺寸

360mm x 317mm x 310mm

支持8寸晶圆进行观察

探测器和扩展 标配 镜筒内电子探测器
旁侧二次电子探测器(ETD)
选配 插入式背散射电子探测器(BSED)
插入式扫描透射探测器(STEM)
能谱仪(EDS)
背散射衍射(EBSD)
样品交换仓(4寸和8寸可选)
轨迹球&旋钮控制板
样品台减速
磁场噪音屏蔽系统(SEMI认证)
支持定制 EBIC功能 进行吸收电流测量、吸收电流成像和电子束感生电流成像
原位加热芯片 结合EDS等多种不同模式,实时、动态监测样品成分演化等关键信息
样品可见光学检测子系统 可实现在室温环境中对待检测样品进行光学预检查,包含5X、10X、20X、50X、100X无限远物镜,以及高清CCD相机和测量软件
软件 语言 中文
操作系统 Windows
导航 光学导航、手势快捷导航
图像显示 1536x1024像素,至少2台24”LCD显示器
图像记录 TIFF、JPG、PNG、BMP
自动功能 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散