SEM4000X是一款稳定通用，灵活高效的场发射扫描电镜。分辨率可达1.9nm @1.0kV，轻松应对各种类型样品的高分辨拍样挑战，可升级超级减速模式，进一步提升低压分辨率。同时采用了多探测器技术，镜筒内电子探测器（UD）可探测SE和BSE信号，同时具有高分辨率性能。仓内电子探测器（LD）采用了晶体闪烁体和光电倍增管，具备更高的灵敏度和高效性，图像具有很好的立体感。中文操作软件，简单易用，丰富的自动化功能，如自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散、自动对中等等，可快速获取高分辨图像。
场发射扫描电镜
SEM4000X
SEM4000X
高分辨率
多探测器技术
对中简化
沿用高端平台
*超级减速技术
丰富的扩展能力
电子光学
产品参数
| 关键参数 | 分辨率 | 0.9 nm@30 kV, SE |
| 1.2 nm@15 kV, SE | ||
| 1.9 nm@1 kV, SE | ||
| 1.5 nm@1 kV(超级减速） | ||
| 1.0 nm@15 kV(超级减速） | ||
| 加速电压 | 200 V~30 kV | |
| 放大倍率 | 1~1,000,000× | |
| 电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 | |
| 样品室 | 低真空模式 | / |
| 摄像头 | 双摄像头（光学导航+样品仓内监控） | |
| XY行程 | 110 mm | |
| Z行程 | 50 mm | |
| T行程 | -10°~+70° | |
| R行程 | 360° | |
| 探测器 | 镜筒内电子探测器 | UD-BSE/UD-SE |
| 仓室内电子探测器 | LD | |
| 插入式背散射电子探测器（BSED） | ○ | |
| 插入式扫描透射电子探测器（STEM） | ○ | |
| 低真空二次电子探测器（LVD） | ○ | |
| 能谱仪（EDS） | ○ | |
| 背散射衍射（EBSD） | ○ | |
| 扩展 | 样品交换仓（4寸/8寸） | ○ |
| 旋钮板&轨迹球 | ○ | |
| 双减速技术（Duo-Dec） | / | |
| 超级减速技术 | ○ | |
| 软件 | 操作软件 | Windows操作系统，中文SEM软件 |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航、轨迹球（选配） | |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动 |
| 分辨率 | 0.9 nm@30 kV, SE |
| 1.2 nm@15 kV, SE | |
| 1.9 nm@1 kV, SE | |
| 1.5 nm@1 kV(超级减速） | |
| 1.0 nm@15 kV(超级减速） | |
| 加速电压 | 200 V~30 kV |
| 放大倍率 | 1~1,000,000× |
| 电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 |
| 低真空模式 | / |
| 摄像头 | 双摄像头（光学导航+样品仓内监控） |
| XY行程 | 110 mm |
| Z行程 | 50 mm |
| T行程 | -10°~+70° |
| R行程 | 360° |
| 镜筒内电子探测器 | UD-BSE/UD-SE |
| 仓室内电子探测器 | LD |
| 插入式背散射电子探测器（BSED） | ○ |
| 插入式扫描透射电子探测器（STEM） | ○ |
| 低真空二次电子探测器（LVD） | ○ |
| 能谱仪（EDS） | ○ |
| 背散射衍射（EBSD） | ○ |
| 样品交换仓（4寸/8寸） | ○ |
| 旋钮板&轨迹球 | ○ |
| 双减速技术（Duo-Dec） | / |
| 超级减速技术 | ○ |
| 操作软件 | Windows操作系统，中文SEM软件 |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航、轨迹球（选配） |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动 |
●标配 ○选配 /无
