01 配备高亮度、长寿命的肖特基热场发射电子枪
02 分辨率高，30 kV 下优于 0.9 nm 的极限分辨率
03 三级磁透镜设计，束流可调范围大，最大支持 200 nA 的分析束流
04 无漏磁物镜设计，可直接观察磁性样品
05 标配低真空模式，以及高性能的低真空二次电子探测器和插入式背散射电子探测器
06 标配的光学导航模式，中文操作软件，让分析工作更轻松
场发射扫描电子显微镜
SEM4000Pro
SEM4000Pro是一款分析型热场发射扫描电子显微镜，配备了高亮度、长寿命的肖特基场发射电子枪。三级磁透镜设计，在EDS、EBSD、WDS等应用上具有明显优势。标配低真空模式，以及高性能的低真空二次电子探测器和插入式背散射电子探测器，可观察导电性弱或不导电样品。
突破性的分辨能力
机械中心样品台
低真空模式
*快速换样仓
（最大8寸）
（最大8寸）
三级磁透镜设计
丰富的扩展能力
产品优势
应用案例
水菜花花粉/低真空70 Pa/10 kV/LVD
陶瓷/10 kV/ETD
金属断口/15 kV/ETD
PA-玻纤复合材料/10 kV/BSED
芯片/5 kV/ETD
银浆/1 kV/ ETD
产品参数
| 关键参数 | 分辨率 | 0.9 nm @ 30 kV，SE |
| 2.5 nm @ 30 kV，BSE，30 Pa | ||
| 1.5 nm @ 30 kV, SE, 30 Pa | ||
| 加速电压 | 200 V ~ 30 kV（35kV可选） | |
| 放大倍率 | 1 ~ 1,000,000 x | |
| 电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 | |
| 样品室 | 低真空模式 | 最大180 Pa |
| 摄像头 | 双摄像头 | |
| （光学导航+样品仓内监控） | ||
| 行程 | X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm | |
| T: -10°~+70°，R: 360° | ||
| 探测器和扩展 | 标配 | 仓室内电子探测器（ETD） |
| 低真空二次电子探测器（LVD） | ||
| 插入式背散射电子探测器（BSED） | ||
| 选配 | 能谱仪（EDS） | |
| 背散射衍射（EBSD） | ||
| 插入式扫描透射探测器（STEM） | ||
| 样品交换仓（4 寸 /8 寸） | ||
| 轨迹球&旋钮板 | ||
| 软件 | 语言 | 中文SEM软件 |
| 操作系统 | Windows | |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航、轨迹球（选配） | |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
